สินค้าและบริการ
ยกระดับอุตสาหกรรมด้วยโซลูชันนวัตกรรมระดับโลก
ตอบโจทย์ทุกความต้องการด้านการผลิตและตรวจสอบคุณภาพ
Wafergard® MAX HT In-line Gas Filters
Superior particulate filtration for high-temperature, ultrapure gas applications.
- Designed for high-temperature TEOS and high-k applications up to 200°C (392°F)
- Overall design (148 mm [5.82"]) is a drop-in replacement for similar filters
- The compact size fits many existing delivery systems and provides design flexibility and versatility
- Special baking enables rapid gas delivery startup
- Low differential pressure provides stable and improved material delivery
Wafergard® MAX HT In-line Gas Filters Applications
- Point-of-use filter for CVD tools
- High-temperature applications like TEOS and high-k
- Hot N2 applications
สนใจเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์หรือบริการของเรา?
