GateKeeper® DX Series Gas Purification Systems

#entegris #Gas Purification Systems

GateKeeper® DX Series – Gases Purified: Carbon Dioxide (CO2). Continuous flow, point-of-use purified CO2 gas at a low cost of ownership.

  • DX series systems remove volatile acids and bases
  • Ensures cleaner process in parts-per-million levels
  • Power failures will not harm the system
  • Purifiers automatically self-regenerate
  • Uses minimal fab floor space to save costs 
  • Photolithography 
  • Applications that require purified CO2 gas 
  • Wet etch and clean  

GateKeeper® DX Series Gas Purification Systems Applications

  • Photolithography
  • Applications that require purified CO2 gas
  • Wet Etch and Clean
สนใจเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์หรือบริการของเรา?

บริษัท ฟิลเตอร์ไฟน์ (ประเทศไทย) จำกัด 


เลขที่ 594/11 หมู่บ้านเฮ้าส์เดอะฮัมบูร์ก ถนนหทัยราษฎร์ แขวงบางชัน เขตคลองสามวา กรุงเทพมหานคร 10510


ติดต่อทีมงาน 


    filterfine@filterfineth.com

     0-2121-7226

    Filtration Division

Ms. Adisa

  096-782-6363  

  adisa@filterfineth.com

    Metrology Division

Mr. Chayanon

  096-782-4449  

  chayanon@filterfineth.com

Copyright ® 2021 filterfineth.com