GateKeeper® Z2 Series Gas Purification Systems

#Gas Purification Systems #entegris

Delivers purified extreme clean dry air (XCDA®) purge gas to today's scanner platforms, including immersion lithography tools. 

  • Z2 series systems remove contaminants from CDA (air) gas
  • Ensures cleaner process in parts-per-trillion levels
  • Power failures will not harm the system
  • Purifiers automatically self-regenerate
  • Uses minimal fab floor space to save costs 

GateKeeper® Z2 Series Gas Purification Systems Applications

  • For use with CDA (air) gas
  • For removal of SO2, SOX, NOX, H2S, H2O, CO2 and more
  • For a continuous flow of pure gas
สนใจเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์หรือบริการของเรา?

บริษัท ฟิลเตอร์ไฟน์ (ประเทศไทย) จำกัด 


เลขที่ 594/11 หมู่บ้านเฮ้าส์เดอะฮัมบูร์ก ถนนหทัยราษฎร์ แขวงบางชัน เขตคลองสามวา กรุงเทพมหานคร 10510


ติดต่อทีมงาน 


    filterfine@filterfineth.com

     0-2121-7226

    Filtration Division

Ms. Adisa

  096-782-6363  

  adisa@filterfineth.com

    Metrology Division

Mr. Chayanon

  096-782-4449  

  chayanon@filterfineth.com

Copyright ® 2021 filterfineth.com