GateKeeper® Z3 Series Gas Purification Systems

#entegris #Gas Purification Systems

The GateKeeper® Gas Purification System (GPS) Z3 series is the latest continuous service gas purifications system from Entegris. This advanced gas purification technology provides semiconductor manufacturers with an innovative, efficient and cost effective solution to purify purge gases used in a dry and immersion-based lithography tools.

  • Purifies to ppt (parts-per-trillion) levels
  • Low pressure drop resulting in no changes to inlet pressure required
  • Self-regenerating purifiers
  • Low cost of ownership
  • Ambient temperature purification
  • Power failure will not damage purification system

GateKeeper® Z3 Series Gas Purification Systems Applications

  • Photolithography
  • FOUP Cleaning and purging
  • Stocker cleaning and purging
  • Other applications requiring XCDA purge gas
สนใจเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์หรือบริการของเรา?

บริษัท ฟิลเตอร์ไฟน์ (ประเทศไทย) จำกัด 


เลขที่ 594/11 หมู่บ้านเฮ้าส์เดอะฮัมบูร์ก ถนนหทัยราษฎร์ แขวงบางชัน เขตคลองสามวา กรุงเทพมหานคร 10510


ติดต่อทีมงาน 


    filterfine@filterfineth.com

     0-2121-7226

    Filtration Division

Ms. Adisa

  096-782-6363  

  adisa@filterfineth.com

    Metrology Division

Mr. Chayanon

  096-782-4449  

  chayanon@filterfineth.com

Copyright ® 2021 filterfineth.com