MegaTorr® PS21 Ammonia Gas Purifiers

#entegris #Gas Purification Systems

These PS21 automatically regenerable, bulk gas purifiers efficiently remove numerous impurities with high reliability, low cost, and high performance.

  • Uses adsorption processes designed specifically to provide ultra-high purity gas for semiconductor applications
  • Two adsorber vessels alternate between purify and regeneration modes, providing continuous purification in a single process
  • Adsorber regeneration is accomplished by back flushing with a mixture of purified nitrogen (N2) and low concentration hydrogen (H2) at an elevated temperature, then the regenerated vessel is reconditioned with ammonium (NH3) prior to placing it back into service
  • Optimized design provides sub-ppb performance in small footprints with flow rates up to 1,667 slpm (100 Nm3/hr)
MegaTorr® PS21 Ammonia Gas Purifiers Applications
  • Semiconductor
  • Data storage
  • Flat panel display
  • LED
  • Solar

Specifications

Dimensions

ModelH (cm)W (cm)D (cm)Weight (kg)
PS21-MGS10 - PS21-MGS201388040<160
PS21-MGS30 - PS21-MGS601688761<350
PS21-MGS80 - PS21-MGS1001999270<450
สนใจเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์หรือบริการของเรา?

บริษัท ฟิลเตอร์ไฟน์ (ประเทศไทย) จำกัด 


เลขที่ 594/11 หมู่บ้านเฮ้าส์เดอะฮัมบูร์ก ถนนหทัยราษฎร์ แขวงบางชัน เขตคลองสามวา กรุงเทพมหานคร 10510


ติดต่อทีมงาน 


    filterfine@filterfineth.com

     0-2121-7226

    Filtration Division

Ms. Adisa

  096-782-6363  

  adisa@filterfineth.com

    Metrology Division

Mr. Chayanon

  096-782-4449  

  chayanon@filterfineth.com

Copyright ® 2021 filterfineth.com